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初步了解无尘烘烤箱
点击次数:191 发布时间:2020-07-24
  Class100 洁净烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、TP、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
 
  产品特点:
 
  1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100
 
  2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
 
  3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)
 
  4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到zui佳温度控制精度。
 
  设备简介:
 
  1、箱体结构:
 
  烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成,结构合理,外观美观大方;
 
  箱体材料:外箱采用SUS304 ,1.5mm之拉丝不锈钢,并经碱性苏打水清洁,可防止微尘;
 
  内胆材料:采用优质SUS304,2.0mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE;
 
  中桶材料:采用优质SUS304,2.0mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。
 
  2、温控系统:
 
  采用日本“神港”温度控制器,控制器LED数字显示及设定、PID自 动演算、薄膜设定,准确度±0.3%FS。
 
  讯号来源:采用PT100热电阻±0.5%。
 
  输出被控制组件:SSR无接点讯号输出。
 
  3、完善的安全保护措施:
 
  漏电断路器、控制线路保险丝装置、超温防止保护装置、电热过电流保护装置、马达过电流保护、机台异常蜂鸣器警示 逆向防止器、门面安全开关
 
  4、选购设备:
 
  可程式温控器        无纸记录仪        三色指示灯          烘烤架
 


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